簡要描述:Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺,Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點支撐水平載臺,兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手,滿足亞微米級的形 貌測量需求,可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程。
詳細介紹
多種測量能力
•形貌測量
•晶圓分選
•電阻率測量
•關鍵尺寸檢測
自由選擇適配的測量方式
•Dymek Orzew FC20使用無接觸式單側紅外干涉光傳感器,搭配標準真空吸附晶圓載臺
•Dymek Orzew FC20X使用無接觸式點光譜共焦對射傳感器,搭配符合行業(yè)標準的三點支撐水平載臺
•兩套系統(tǒng)均配有高速、高精度運動模組和晶圓機械手,滿足亞微米級的形貌測量需求
•可選裝配電阻率測試模塊,滿足更多樣化的量測需求,適應更多的晶圓制程
厚度分布熱力圖和三維面型
•具備4,6,8寸晶圓檢測能力(12寸可選)
•全自動輸出測量結果
•自定義電阻率檢測輸出方式
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